「フェムト秒レーザによる高アスペクト比加工」
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「フェムト秒レーザによる高アスペクト比加工」
第9回 微細加工プロセス技術セミナー（2021年10月29日） 【プラットフォーム技術紹介】 講師：名古屋大学 加藤剛志 フェムト秒レーザはパルス幅100 fs程度のパルスレーザであり，熱影響のない高精細加工や多光子吸収プロセスを利用した微細加工ができると ...
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