Anomaly Detection Autoencoder - 検索動画

Detection and monitoring of defects/anomalies in random circuit patterns using autoencoder

spiedigitallibrary.org

Detection and monitoring of defects/anomalies in random circuit patterns using autoencoder

To detect anomalies/defects for random/arbitrary IC patterns, we decompose SEM images into small sub-images and apply an identical autoencoder to each of them. The astronomical varieties in random IC patterns are reduced into limited varieties in elementary patterns, which are coded onto limited dimension latent vectors in autoencoder. A wide ...

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