The Extreme Engineering of ASML’s EUV Light Source
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The Extreme Engineering of ASML’s EUV Light Source
After 20+ years of development, extreme ultraviolet lithography has become a commercial reality. As I write these words, multi-million dollar machines from ASML use EUV light to create impossibly small patterns in wafers. This technological magic requires a powerful heart inside of it. And indeed, there is an amazing system driving ASML's $150 ...
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