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semi-engineers.com
CMP装置〜先端ロジック/3次元半導体/チップレット..ナノレベルの平坦化を実現!
半導体製造において欠かせない工程の一つ、化学的機械研磨(CMP)。CMPとは、Chemical Mechanical Polishingの略で「化学的機械的研磨」と呼ばれる工程です。この工程は、平坦化(Planarization)とも呼ばれ...
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