米国の中堅半導体洗浄装置メーカーであるSHELLBACK Semiconductor Technologyは、東京エレクトロン(TEL)から小口径バッチスプレー式半導体洗浄装置(200mm、150mm、100mmウェハ対応)「MERCURY+シリーズ」の事業を買収したことを発表した。 MERCURY+バッチ式スプレー洗浄装置は ...