英国Newportを本拠とする半導体装置メーカーSPTS Technologies(イスラエルの光学式検査装置メーカーorbotechの子会社)とベルギーの半導体・エレクトロニクス研究機関imecは、米国カリフォルニア州サンフランシスコで開催されたSEMICON WESTにおいて、両社がTSV(Through ...