PVD装置の構造とは?|金属の雨を降らせる成膜プロセス そもそもPVDとは?|化学じゃなくて“物理”で貼る技術 PVD装置の構造を図で理解しよう 金属ターゲット Arガス(アルゴンガス) 電源(Power Supply) クライオポンプ(排気) PVDの特徴まとめ 成膜方式: 対応膜種: ...
After 35 years of persistently pursuing his expertise and silently researching, Dr. Pham Hong Tuan, currently the Director of the Center for Optoelectronics, Institute of Technology Applications, ...