ニコンは、UV-LED光源を初めて採用したFPD露光装置2機種を発表。ディスプレイなど高精細パネルを製造するための装置で、高い解像度と生産性を両立しながら環境負荷低減も追求している。 搭載するUV-LED光源の波長などが異なる「FX-88SL」と「FX-88SLD」の2機種 ...