東京エレクトロン(TEL)は12月9日、先端ロジック・DRAM・NAND向けの汎用型スパッタリング装置「LEXIA-EX」を販売開始することを発表した。 TELはこれまで、独自の製品コンセプトを持つスパッタリング装置「EXIM」を10年以上にわたって提供し、先端半導体の量産化 ...

スパッタリング装置LEXIA(TM)-EX販売開始のお知らせ 東京エレクトロン(TEL、東京都港区、社長:河合利樹)は、スパッタリング装置LEXIA(TM)-EXの販売開始をお知らせします。 LEXIA(TM)-EXは、次世代メモリ分野で培った技術を継承し、先端ロジックおよびDRAMや3D NANDなど ...