株式会社アルバックは、2020年から参画している圧電MEMS*1技術の共同開発プロジェクト「Lab-in-Fab（ラボ・イン・ファブ）」が新たなフェーズに移行し、引き続きこの取り組みに参加することを発表しました。アルバックは装置メーカーとして、圧電MEMSの成膜 ...