キヤノンは、メモリーやロジックなどの半導体量産工場において定評のある半導体露光装置KrF（※1）スキャナー「FPA-6300ES6a」の生産性向上オプション“Grade10”を2022年8月上旬に発売します。KrF半導体露光装置の300mm基板において業界最高水準（※2）となる ...

業界最高水準となる毎時300枚の高い生産性を実現 キヤノンは、メモリーやロジックなどの半導体量産工場において定評のある半導体露光装置KrF（※1）スキャナー「FPA-6300ES6a」の生産性向上オプション"Grade10"を2022年8月上旬に発売します。KrF半導体露光装置の ...