2022年9月29日に、QYResearchは「グローバルチタンエッチングに関する市場レポート, 2017年-2028年の推移と予測、会社別、地域別、製品別、アプリケーション別の情報」の調査資料を発表しました。チタンエッチングの市場生産能力、生産量、販売量、売上高 ...

エッチング工程は、ウェハ上に回路を描くリソ工程が完了した後に、不要な酸化膜を除去して半導体のパターンを残す工程です。液体、ガス、またはプラズマを用いて回路パターンと区別した不要な層を選択的に除去します。2020年3月に発表されたラム ...

高精度な加工が必要とされる半導体の製造過程では、異方性エッチングに向いた手法であるドライエッチングが用いられている。ドライエッチングと言えば、リアクティブ・イオン・エッチング(RIE)を指すことが多く、広義ではプラズマエッチングや ...