imecとASMLは6月3日(欧州時間)、ASMLの本社があるオランダのフェルトホーフェンに共同で運営する「High NA EUV Lithography Lab」を開設したことを発表した。 同ラボは、最先端のロジックおよびメモリメーカーならびに先端料および製造装置メーカーに ...
imecは、オランダの「ASML-imec high-NA EUV Lithography Lab」にてNA=0.55の高NA EUV露光装置を用いてロジックデバイスおよびDRAMパターンを露光した結果を公表した。 それによると9.5nm(19nmピッチ)のランダムロジック構造、中心間距離30nmのランダムビア、22nmピッチの2D ...
How Does EUV Lithography Work? EUV Lithography is a state-of-the-art technology in chip manufacturing that uses highly energetic ultraviolet light to carve detailed patterns onto semiconductor ...
2025年2月23〜27日に開催された半導体リソグラフィー技術の国際会議「SPIE Advanced Lithography+Patterning」（米カリフォルニア州サンノゼ）では、開口数（NA）を現状の0.33から0.55へ高めた次世代のEUV（極端紫外線）露光に関する発表に注目が集まった。オランダASML ...
ASML Holding N.V. (NASDAQ:ASML) is one of the most pivotal companies in the global technology ecosystem. As a leading semiconductor equipment manufacturer, its cutting-edge lithography systems are ...
A new technical paper titled “Statistics of EUV exposed nanopatterns: Photons to molecular dissolutions” was published by Hiroshi Fukuda, Hitachi High-Tech Corporation. “For higher computing power of ...
EUV lithography plays an essential role for advancing the manufacturing of smaller transistors and tighter interconnects resulting in significant density and increase in computational performance. The ...
Austin, March 21, 2025 (GLOBE NEWSWIRE) -- Extreme Ultraviolet (EUV) Lithography Market Size & Growth Insights: According to the SNS Insider,“The Extreme Ultraviolet (EUV) Lithography Market Size was ...
「半導体集積回路の密度が2年ごとに倍増する」という半導体のイノベーションの成長速度を予測した「ムーアの法則」は、近いうちに終焉を迎えると言われています。この法則を提唱したIntelの創業者の1人であるゴードン・ムーア氏も「トランジスタが原子 ...
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