先端技術情報や市場情報を提供している(株)シーエムシー・リサーチ（千代田区神田錦町： https://cmcre.com/）では、 各種材料 ...

定義：ナノスケールを制御する最前線技術、CVD装置とは何か 半導体CVD（Chemical Vapor Deposition：化学気相成長）装置とは、シリコンウェハー上に薄膜を形成するための中核的な製造設備である。ガス状の原料を高温環境下で化学反応させ、精密な薄膜を堆積 ...

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アルバックは11月29日、同社の300mmウェハ対応PVD装置「ENTRON-EX」のベースコンセプトを継承した次世代半導体製造装置「ENTRON-EX2 W300」を発表、即日受注を開始したことを明らかにした。 同装置は、クラスタツール型マルチチャンバ成膜装置で、従来のPVD ...

次世代半導体生産向け製造装置および製造プロセスの自動制御(Advoaced Equipment Control/Advanced Process Control)に関する国際シンポジウム「AEC/APC Symposium Asia 2015」が、「インダストリー4.0時代の境界なき交流の場」というテ―マの下、開催された(図1)。主催は ...